根据ISO14644-3.B.6给出的测试方法，高效风口检漏试验一般采用气溶胶光度计法和离散粒子计数法。本文通过对比试验对气溶胶光度计法与粒子计数法这两种测试方法的技术与经验的相同点及不同点进行了相关探讨，其试验结论对于提高目前风口检漏的检测水平起到了积极的推动作用。
一、高效过滤器效率与检漏
高效过滤器过滤效率是指的滤器本身的效率,随执行的标准及测试方法不同而异。当前对高效过滤器效率的测试方法有:DOP法,以光度计检测,不如粒子计数法灵敏,有关标准可见美国IEST-RP-CC001:粒子计数法,以粒子计数器作为检测仪器,使用单分散或多分散气溶胶,灵敏度高,多用于超高效过滤器,相关标准可见EST-RP-CC007最易穿透粒径法(MPS),采用粒子计数器作为检测仪器,使用的气溶胶同前,此法是欧盟EN1822标准所规定,与粒子计数法的区别是以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径;钠焰法,此法采用火焰光度计,对NaCL燃烧的火焰色度作响应,相关标准见我国“高效空气过滤器GB13554-92灵敏度低,且NaCL对微电子产品质量有害,国外已不用对制药企业来讲,高效过滤器检漏主要是现场检漏,通过DOP法发现滤器本身及运输、安装过程中可能存在的问题。常使用气溶胶光度计及多发散气溶胶,因其比单分散气溶胶来得经济方便并能满足要求。
气溶胶光度计
二、气溶胶光度计与粒子计数器
检测仪器可使用气溶胶光度计或粒子计数器。粒子计数器检测的是粒子的数量分布,常以“粒/L”单位表示,而光度计检测的是粒子的质量浓度,以"mgL"表示。最多数量分布的粒子与最大浓度分布的粒子并不处于同一粒径,因为粒径与重量成三次方的关系,大粒径的粒子在浓度分布中占有较大的比重。因此在检测滤器效率时,使用粒子计数器和光度计得到的结果会有差别。与粒子计数器相比,光度计灵敏度及精度稍差,因此不用来检测H13级以上的高效过滤器及超高效过滤器。对于制药企业高效过滤器的现场检漏而言,因光度计使用方便、检测结果易于判断、对泄漏检测比较感而得到广泛应用。
粒子计数器
三、检漏标准
在检漏结果的判定上,不同的标准也有所差异。美国IEST-RP-CC034规定C、D级高效过滤器现场检漏透过率0.3um,光度计扫描检漏法)为0.01。欧盟EN1822规定检漏测试只要被测过滤器的局部透过率不超过规定的局部值便为合格,H13级高效过滤器对应的局部透过率为0.25%,但要注意这里的透过率是以0.3um单分散相DOP测试得出的。我国在“洁浄厂房设计规范GB50073-2001及高效空气过滤器GB13554-92”中关于已安装过滤器的泄漏测试,规定使用大气尘或其它气溶胶,采用粒子计数器测得泄漏浓度,对于高效过滤器,穿透率不应大于过滤器出厂合格穿透率的2倍。对于制药企业HEPA的检漏测试,在实际测试中,若有泄漏,光度计数值会明显升高,易于判断,高效过滤器泄漏率标准定为小于等于0.01%并不影响实际泄漏的检测。
来源：天氏库力 发布日期
2020-07-13 浏览：